光學(xué)檢漏儀的原理
當(dāng)各種氣體排出時(shí),每種氣體都會(huì)發(fā)出自己*的光。通過(guò)測(cè)量這些光的每個(gè)波長(zhǎng)的光譜強(qiáng)度,可以測(cè)量各種氣體的分壓。由該分壓計(jì)算出各氣體的泄漏量。
由于它可以測(cè)量光,因此即使是低真空也可以輕松測(cè)量。
(右圖是各種氣體的發(fā)射顏色示例。)
光學(xué)檢漏儀的檢測(cè)優(yōu)勢(shì)
1.無(wú)需昂貴且耗竭的氦氣
? 可使用氬氣或氣氛(氮?dú)猓┻M(jìn)行泄漏測(cè)試
2.檢查時(shí)間可以縮短和簡(jiǎn)化
?可從低真空區(qū)域(約50Pa)進(jìn)行測(cè)試
?氣體逸出迅速,可縮短檢查周期
?可一鍵更換搜索氣體?使用大氣中的氮?dú)鈾z查泄漏和總泄漏量后的氬氣可以通過(guò)切換到該模式來(lái)識(shí)別泄漏位置。
3.無(wú)需高級(jí)技能
?由于沒(méi)有吸收或滲透到彈性體中,因此可以進(jìn)行可靠的泄漏檢測(cè)。
4.可以準(zhǔn)確量化泄漏量
?使用標(biāo)準(zhǔn)電導(dǎo)元件達(dá)到大氣壓空氣(氮?dú)猓┑男孤?biāo)準(zhǔn)。
?可以將空氣校準(zhǔn)值轉(zhuǎn)換為氬氣等
下圖是使用已知電導(dǎo)的元件在大氣壓空氣中進(jìn)行靈敏度校準(zhǔn)后,確認(rèn)使用氬氣測(cè)量泄漏量的準(zhǔn)確度的圖表。通過(guò)在大氣中進(jìn)行一次校準(zhǔn),可以精確測(cè)量高達(dá) 10-8 Pa·m3/s 的氣體類(lèi)型,例如氮?dú)夂蜌鍤狻?/span>
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