mec檢測技術分析

發(fā)布日期：2024-03-16      瀏覽次數(shù)：284

mec檢測技術分析

定區(qū)域檢查/尺寸測量




MLA-5000 專為切割（單晶圓）產(chǎn)品而設計，除了對產(chǎn)品定區(qū)域進行表面檢查外，還使用我們的技術來執(zhí)行尺寸測量。

之定區(qū)域巡查

• 通過將定檢查區(qū)域設置在檢查對象區(qū)域（工件）的末端，可以進行全表面檢查。

• 通過在檢查對象區(qū)域（工件）內定定檢查區(qū)域并設置多個檢查區(qū)域，可以處理多面產(chǎn)品和多個工件。

• 如果檢查對象區(qū)域（工件）的形狀復雜，也可以使用CAD數(shù)據(jù)來定區(qū)域。



尺寸測量

• 可以在自動識別的檢查目標區(qū)域（工件）內識別定區(qū)域，并測量每個區(qū)域和每個區(qū)域之間的尺寸（距離）。通過測量尺寸，可以獲得定區(qū)域的“外徑/內徑/位置偏差量/被檢查產(chǎn)品之間的節(jié)距"等信息，并對產(chǎn)品進行合格/不合格判定。

待檢產(chǎn)品示例1		待檢產(chǎn)品例2
從產(chǎn)品的外圓開始指指區(qū)域 1、2、3 φDiameter1：指區(qū)域 1 的直徑 φDiameter2：指區(qū)域 2 的直徑 φDiameter3：指區(qū)域的直徑 3TargetPitch：與前一產(chǎn)品的間距PositionGap1 ： 指區(qū)域 3 的中心位置 偏差PositionGap2：測量指區(qū)域1和2的中心位置偏差 TargetWidth：紙張的全寬度		產(chǎn)品的圓為指區(qū)域 φDiameter: 指區(qū)域的直徑PositionGap : 測量指區(qū)域的中心位置偏差TargetPitch : 與前一個產(chǎn)品的間距TargetWidth : 板材的全寬度