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半導(dǎo)體制造中為什么需要檢測(cè)露點(diǎn)?

  • 發(fā)布日期:2025-01-10      瀏覽次數(shù):29
    • 半導(dǎo)體制造中為什么需要檢測(cè)露點(diǎn)?


      水可能是所有生命的基礎(chǔ),但當(dāng)涉及到半導(dǎo)體制造等專業(yè)過(guò)程時(shí),它通常是過(guò)程中不想要的化合物之一。

        水蒸氣的存在不僅在技術(shù)方面,而且對(duì)商業(yè)成果都有非常重要的影響。即使是很少量的水蒸氣也會(huì)在晶片表面帶入雜質(zhì)或?qū)е卵趸?,從而?huì)對(duì)半導(dǎo)體器件的電特性產(chǎn)生不利影響。

        這可能導(dǎo)致生產(chǎn)效率降低、生產(chǎn)成本增加和制造時(shí)間延長(zhǎng),直接影響盈利能力和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

        在光刻、沉積和蝕刻等關(guān)鍵工藝過(guò)程中,對(duì)濕度和水蒸氣的精確控制對(duì)于保持半導(dǎo)體層的結(jié)構(gòu)完整性和實(shí)現(xiàn)所需的產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。水蒸氣的有效管理不僅對(duì)于維護(hù)半導(dǎo)體器件所需的高性能標(biāo)準(zhǔn)和可靠性至關(guān)重要,而且對(duì)于確保高效的生產(chǎn)工藝、有力地減少浪費(fèi)和保持強(qiáng)大的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)地位也至關(guān)重要。

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      TEKHNE公司是一家擁有40年露點(diǎn)測(cè)量的日本制 造商,生產(chǎn)創(chuàng)新的TK-100系列濕度儀。  測(cè)量方便,帶有顯示屏的TK-100在線式濕度儀能 連續(xù)測(cè)量,你所需要的是100~240VAC電源和樣氣接 口。此外,你也可以選擇TK-100露點(diǎn)傳感器,單獨(dú)使 用4~20mA信號(hào)輸出供電18~28VDC。

      特征

      簡(jiǎn) 便  

      TEKHNE公司是一家擁有40年露點(diǎn)測(cè)量的日本制 造商,生產(chǎn)創(chuàng)新的TK-100系列濕度儀。  測(cè)量方便,帶有顯示屏的TK-100在線式濕度儀能 連續(xù)測(cè)量,你所需要的是100~240VAC電源和樣氣接 口。此外,你也可以選擇TK-100露點(diǎn)傳感器,單獨(dú)使 用4~20mA信號(hào)輸出供電18~28VDC。

      高 品 質(zhì)  

      TEKHNE的氧化鋁陶瓷傳感器能保證最佳精度, 快速響應(yīng)以及長(zhǎng)期穩(wěn)定性。大多數(shù)先進(jìn)的傳感器技術(shù) 均應(yīng)用于此。  此外,先進(jìn)的微處理器技術(shù)實(shí)現(xiàn)全溫度補(bǔ)償,將 處理溫度到露點(diǎn)測(cè)量值的影響最小化。通過(guò)TK-100傳 感器把-80~+20℃露點(diǎn)輸出轉(zhuǎn)換為穩(wěn)定的和線性的 4~20mA輸出。

      靈 活 性 

       TEKHNE的TK-100系列用于空氣或惰性氣體的露 點(diǎn)測(cè)量。把傳感器通過(guò)選件取樣座由5/8" UNF或1/8"  NPT接入到你的處理線上。1/8 DIN顯示屏可在距離傳 感器1000米遠(yuǎn)處設(shè)置。  處理線的流量必須設(shè)定為1~10NL/分(帶選件取 樣座)或0.5~10m/秒(不帶選件取樣座)溫度范圍 -20~+60℃,壓力可達(dá)30MPa。建議安裝過(guò)濾器濾去 灰塵。


      主要用途

      • 手套箱內(nèi)的露點(diǎn)控制

      • 干燥機(jī)露點(diǎn)檢查

      • 熱處理爐內(nèi)氣氛控制

      • 潔凈室和干燥室的露點(diǎn)管理

      • 氣體純度控制

      • 天然氣水分管理

      • 半導(dǎo)體制造設(shè)備

      • 有機(jī)EL制造


    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流
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