日本Amenity公司的氣流可視化設(shè)備AVIS基于霧示蹤法,在潔凈室環(huán)境中具有以下顯著優(yōu)勢:
1. 無污染且兼容潔凈環(huán)境
超純水霧化:采用超純水作為示蹤劑,無毒、無化學(xué)污染,符合潔凈室對材料純凈度的嚴(yán)苛要求,避免引入外來污染物。
顆粒尺寸可控:生成的0.5μm霧氣顆粒是潔凈室標(biāo)準(zhǔn)粒徑,既能穩(wěn)定懸浮跟隨氣流,又不會(huì)因過大顆粒沉降造成設(shè)備或產(chǎn)品污染。
2. 高精度氣流追蹤
真實(shí)反映氣流動(dòng)態(tài):0.5μm顆粒具有極低的慣性,能精準(zhǔn)跟隨氣流運(yùn)動(dòng)(包括低速氣流),避免示蹤劑自身干擾測量結(jié)果,確??梢暬瘮?shù)據(jù)真實(shí)可靠。
微小擾動(dòng)優(yōu)化:設(shè)備通過調(diào)節(jié)風(fēng)量和振蕩頻率,最小化霧氣噴射對原有氣流的影響,尤其適合對氣流穩(wěn)定性要求高的潔凈室環(huán)境。
3. 直觀感染風(fēng)險(xiǎn)分析
病原體傳播路徑模擬:霧氣顆粒的運(yùn)動(dòng)可直觀顯示氣流攜帶污染物的擴(kuò)散路徑,幫助識別交叉污染風(fēng)險(xiǎn)點(diǎn)(如手術(shù)室飛沫傳播、制藥車間微粒擴(kuò)散)。
死角與湍流檢測:通過可視化氣流停滯區(qū)或異常渦流,優(yōu)化潔凈室換氣次數(shù)(ACH)及高效過濾器(HEPA)布局,提升單向流(層流)效果。
4. 實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)評估與驗(yàn)證
無需復(fù)雜設(shè)備介入:直接目視或結(jié)合攝像記錄即可評估氣流組織,無需暫停潔凈室運(yùn)行,適合動(dòng)態(tài)驗(yàn)證壓差梯度或設(shè)備啟停時(shí)的氣流變化。
兼容驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn):支持ISO 14644-3等潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)中對氣流流型測試的要求,輔助驗(yàn)證單向流、非單向流性能。
5. 操作靈活與安全性
參數(shù)可調(diào)適配場景:通過調(diào)整霧量、顆粒大小(如降低頻率增大顆粒以觀察高速氣流),適應(yīng)不同潔凈等級(ISO 5級至8級)的檢測需求。
無安全隱患:超純水霧氣無導(dǎo)電性或腐蝕性,可在電子類潔凈室等敏感區(qū)域安全使用,區(qū)別于油基或固體顆粒示蹤劑。
應(yīng)用場景示例
手術(shù)室:可視化麻醉氣體泄漏路徑,優(yōu)化排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)。
半導(dǎo)體車間:檢測光刻機(jī)周邊氣流擾動(dòng),防止微粒沉積晶圓。
生物安全實(shí)驗(yàn)室:驗(yàn)證負(fù)壓環(huán)境下危險(xiǎn)氣溶膠的 containment 效果。
綜上,AVIS設(shè)備通過無害化、高精度且直觀的可視化方案,成為潔凈室氣流優(yōu)化、感染控制及合規(guī)驗(yàn)證的高效工具。