半導(dǎo)體晶圓的加工用高亮度鹵素光源裝置-YP-150I/YP-250I

發(fā)布日期：2021-04-09      瀏覽次數(shù)：1393

半導(dǎo)體晶圓的加工用高亮度鹵素光源裝置-YP-150I/YP-250I

    

高亮度鹵素光源設(shè)備是 一種宏觀觀察照明設(shè)備，用于檢測(cè)各種缺陷，
例如異物，劃痕，拋光不均勻，霧度和終成品表面上的打滑，這在半導(dǎo)體晶圓的加工過(guò)程中是費(fèi)力的工作和液晶基板.

概述

　　1.樣品表面的照明度可達(dá)到400,000 Lx以上。

　　2.由于使用鹵素?zé)糇鳛楣庠矗虼松珳馗?，幾乎沒(méi)有不均勻的照明，并且照明
　　　　非常穩(wěn)定且清晰。

　　3.通過(guò)使用冷鏡，可以將熱量的影響極大地
　　　　降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3 。

　　4.兩階段切換機(jī)制使您可以通過(guò)一次觸摸在高光觀察和低光觀察之間進(jìn)行切換
　　　　。
　　　　YP-150I ? ? ?照度范圍φ30YP-250I ? ?
　　　　?照度范圍φ60
　　　?。╕P-250I可以從螺旋槳式風(fēng)扇和風(fēng)管式風(fēng)扇中選擇）。

標(biāo)準(zhǔn)構(gòu)成如下。

照度：照射距離　310mm、照射直徑徑　55mmφ時(shí)照度在　400，000　Lux以上）

光源：直流點(diǎn)燈　17V/185W　鹵素?zé)?/p>

照度調(diào)整：連續(xù)可調(diào)至照度的　20%

冷卻方式：強(qiáng)制空冷

使用溫度范囲：0～40℃

電源電圧：AC　95V～AC　260V，50/60Hz

功率：250W

尺寸：光源　136mm　H×112mm　W×150mm　D

電源　229mm　H×90mm　W×250mm　D

重量：光源2.3kg

電源3.6kg

立桿5.0kg