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用于控制半導(dǎo)體晶片拋光過程中厚度的均勻性設(shè)備

  • 發(fā)布日期:2021-06-30      瀏覽次數(shù):832
    • 用于控制半導(dǎo)體晶片拋光過程中厚度的均勻性設(shè)備

      隨著電子工業(yè)的快速發(fā)展,對石英晶體產(chǎn)品的產(chǎn)量、質(zhì)量和性能提出了更高的要求,這就相應(yīng)的要求晶體生產(chǎn)行業(yè)加速生產(chǎn)設(shè)備與質(zhì)量檢測設(shè)備的研究與開發(fā)。本課題所研究的石英晶體厚度檢測儀就是為國內(nèi)晶體行業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量檢測而開發(fā),它可以取代同類昂貴進口設(shè)備而用于晶體生產(chǎn)企業(yè)晶片研磨厚度與成品厚度檢測。

      半導(dǎo)體晶片非接觸式測厚儀OZUMA22 

      <使用>

      半導(dǎo)體用晶圓(各種材料) 硅Si.GaAs 砷化鎵等,玻璃、金屬、化合物等的高精度非接觸式測厚(非接觸式測厚)

      <特點>

      1. 1. 通過空氣背壓法可以進行非接觸式測厚(非接觸式測厚),不會造成劃痕和污染等損壞
      不依賴于薄膜和顏色光澤等材料,可以輕松進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
      在潮濕時可以進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
      。即使是鏡面透明或半透明,也可以毫無問題地進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
      。由于采用上下測量噴嘴進行測量,因此
         可以準(zhǔn)確測量“厚度”,不受被測物體“滑行”引起的抬升的影響。
       ?。?ldquo;雪橇”測量也可以作為選項(* 1))
      6. 由于操作簡單,因此可以非常輕松地進行測量和校準(zhǔn)(* 2)。

      <測量原理>

      精確控制上、下測量噴嘴的背壓,噴嘴定位使噴嘴與被測物體之間的間隙恒定,并與預(yù)先用基準(zhǔn)規(guī)校準(zhǔn)的值進行比較計算處理對被測物體進行測量操作,可精確計算厚度。

      <性能>

        分辨率 0.1 μm
        重復(fù)精度 10 次重復(fù) 連續(xù)測量時的標(biāo)準(zhǔn)偏差 (1σ) 0.3 μm 或更小
        測量范圍 max. 10mm (* 3)
        供能電源 AC100V 50 / 60Hz 3A
                  潔凈空氣 0.4MPa 20NL/min. (*4)

      <基本配置>
      標(biāo)準(zhǔn)的非接觸式測厚儀(非接觸式測厚儀)是一組以下設(shè)備。
      (1) 非接觸式測厚儀(非接觸式測厚儀)主體 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 套
      ②測量臺(安裝臺) ? ? ? ? 從附“表型”選擇 ?
      ? ? ? ? ? ? ?? 1 套③ 控制盒(分體型) ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 套
      ④ 手動操作開關(guān)盒 ? ? ? ? ? ? ?· · · · · · 1套

      ⑤ 顯示器(7"彩色液晶觸摸屏)或用于測量控制的個人電腦??????????1套
      ⑥連接電纜?????????????????? ? ? ? 1 套
      ⑦ 校準(zhǔn)規(guī)(指ding厚度) ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 個
      ⑧ 測量控制的標(biāo)準(zhǔn)軟件 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? ? ? ? ? ?
      除上述以外,還可以根據(jù)用途從“選項一覽”中選擇選項?!?/font>

       

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