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更新日期：2024-03-21
簡要描述：
日本shinkuu φ300mm Pt 鍍膜機(jī)MSP-12in配備兼容 12 英寸晶圓的大面積樣品臺。使用磁控管方法，當(dāng)涂層電壓為 500V 或更低時(shí)，可減少離子損傷。
日本shinkuu φ300mm Pt 鍍膜機(jī)MSP-12in
配備兼容 12 英寸晶圓的大面積樣品臺。使用磁控管方法，當(dāng)涂層電壓為 500V 或更低時(shí)，可減少離子損傷。
從脫氣到大氣氣體引入和涂層的全自動(dòng)操作，具有自動(dòng)涂層功能。
配備前滑動(dòng)式樣品臺，可輕松放入和取出樣品。如果安裝 Ag 靶材，則可以輕松進(jìn)行透明薄膜等光澤處理。
MSP-12in
靶材的直徑為 12 英寸（直徑 300 毫米），均勻地覆蓋整個(gè) 12 英寸晶圓。它適用于大面積涂層和大量樣品的涂層。
MSP-12S
靶電極的 尺寸為直徑 50 mm。當(dāng)您想要對大面積樣品（例如 12 英寸晶圓）的一部分進(jìn)行鍍膜時(shí)，可移動(dòng)靶非常有用。通過縮小電極尺寸可以降低運(yùn)行成本。此外，無需破碎大晶片。
日本shinkuu φ300mm Pt 鍍膜機(jī)MSP-12in
主要產(chǎn)品規(guī)格
| 物品 | 規(guī)格 |
| 電源 | 單相AC100V15A 3芯插頭帶地線 |
| 設(shè)備尺寸 | 寬 450 毫米，深 440 毫米，高 427 毫米 （設(shè)備重量 30 公斤） |
| 旋轉(zhuǎn)泵 | G-101D 寬 234 mm，深 500 mm，高 264 mm 重量 25 kg |
| 涂裝室尺寸 | 內(nèi)徑 330 毫米，高度 80 毫米 |
| 目標(biāo)電極尺寸 | 直徑300mm |
| 樣品臺 | 直徑300mm |
